资产编号	1812370A
仪器名称	场发射扫描电子显微镜  状态【在用】
英文名称	field emission scanning electron microcopy
规格/型号	放大倍率：500-300000/GeminiSEM 500
生产厂商
国别	德国
所属单位	分析测试中心>>108-L	放置地点	108-L(108-L)
负责人	赵秀阁 联系电话：64253235 邮箱：zhaoxg@ecust.edu.cn 刘娟 联系电话：021-64253235 邮箱：liujuan@ecust.edu.cn 赵秀阁 联系电话：64253235 邮箱：zhaoxg@ecust.edu.cn 王邵雷 联系电话：13916892050 邮箱：slwang@ecust.edu.cn
使用日期	1905/5/23	电子邮箱	zhaoxg@ecust.edu.cn
收费标准	基础费率： FESEM： 常规样品【校内:200元 加0元／ 校外:400元 加0元／】／样品 弱磁性样品【校内:400元 加0元／ 校外:800元 加0元／】／样品 点分析【校内:200元 加0元／ 校外:400元 加0元／】／样品 线分析【校内:200元 加0元／ 校外:400元 加0元／】／样品 面分析【校内:400元 加0元／ 校外:800元 加0元／】／样品 样品前处理： 喷Pt【校内:20元 校外:50元】／样品 喷Cr【校内:40元 校外:100元】／样品
性能指标	FESEM：分辨率≤0.7nm @ 15KV，≤1.1nm @ 1KV，放大倍数范围：20-500,000 EDS：分辨率优于127eV，可测元素范围3Li-92U
主要应用	FESEM：表面微区形貌和结构分析，微小物体形貌和粒度分析 EDS：表面微区成份的定性和半定量分析
样品要求	1、试样必须是化学和物理上稳定的固体（块状、 片状、纤维、粉末均可）； 2、样品表面清洁，在高真空和电子束轰击下不挥发、不变形，无放射性、无腐蚀性； 3、GeminiSEM 500场发射扫描电镜可检测弱磁性样品，但送样时必须告知检测教师，如未告知造成仪器损坏将追究相关责任人的责任。
仪器说明	FESEM主要配置：样品室内E-T二次电子探测器、In-lens二次电子探测器、EsB能量选择背散射电子探测器 EDS主要配置：EXTREME无窗型电制冷100mm2SDD探测器、定性定量分析导航器
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